如须检修RV泵，先关掉吸进口，在关掉真空RV泵的排出来管路，关掉缩小气动阀门，排尽泵内工作压力，并断开泵的气动阀门，将泵内的残余液态排清

流程一：拆下RV20泵左右盖

采用扳子或套简，拆下将左右盖固定不动在流体腔上的16个螺栓，接着，移去左右盖

流程二：拆下流体腔

采用扳子货套简，拆下将流体腔，隔膜和气体腔固定不动在一起的16个螺栓，接着，移去流体腔

流程三：拆下隔膜部件

采用扳子或套简，根据反方向旋转，从隔膜曲轴轴上拆下隔膜部件（外护块，隔膜，内护块），接着，查验隔膜是不是发生创口，戳孔，损坏或化学腐蚀，假如必需，须拆换隔膜

流程四：安砚隔膜

将外护块的螺栓插进隔膜与内互块的核心孔，外护块的螺栓按顺时针攻进曲轴轴两边的螺纹孔内，直到内护块与转动轴端平齐，随后，将曲轴轴插进泵的化工中间体并穿上去，将另一侧的隔膜部件螺栓也按顺时针将外护块螺栓扭紧，将隔膜部件固定不动在曲轴轴上

流程五：再次拼装泵

采用螺栓将两边的流体腔固定不动在泵上，采用螺栓将左右盖重装到泵上，再次联接，使泵恢复过来运行